涡轮分子泵工作原理,涡轮分子泵的工作原理及应用解析
涡轮分子泵工作原理及应用解析 涡轮分子泵是一种高效、高真空的抽气设备,广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域。本文将介绍涡轮分子泵的工作原理及应用解析。 1. 涡轮分子泵的结构 涡轮分子泵由涡轮、分子泵头、电机、控制系统等组成。其中涡轮是泵的核心部件,由多个叶轮组成,通过电机驱动转动。分子泵头则是真空室内的气体抽取部分,由进气口、分子泵板、排气口等组成。 2. 工作原理 涡轮分子泵的工作原理是利用高速旋转的涡轮将气体分子抛向分子泵板,使气体分子在板上撞击,从而将气体分子抽出真空室。具体来说,涡